Huvudklassificeringen av sensorer:
Av syfte
Tryckkänsliga och kraftkänsliga sensorer, positionssensorer, nivåsensorer, energisensorer, hastighetssensorer, accelerometrar, strålningssensorer, termiska sensorer.
Av princip
Vibrationssensor, fuktsensor, magnetisk sensor, gassensor, vakuumsensor, biosensor, etc.
Tryck på utsignal
Analog sensor: omvandlar den uppmätta icke-elektriska storheten till en analog elektrisk signal.
Digital sensor: Konverterar de uppmätta icke-elektriska storheterna till digitala utsignaler (både direkta och indirekta).
Digital sensor: Konverterar den uppmätta semaforen till utgången av en frekvenssignal eller kortcykelsignal (inklusive direkt eller indirekt konvertering).
Switch Sensor: När en uppmätt signal når en viss tröskel, matar sensorn ut en inställd låg eller hög signal i enlighet med detta.
Genom tillverkningsprocessen
Integrerade sensorer tillverkas med standardprocessteknik för produktion av kiselbaserade integrerade halvledarkretsar.
En del av kretsen som används för att initialt bearbeta signalen som testas är också typiskt integrerad på samma chip.
Tunnfilmssensorn bildas av en film av ett motsvarande känsligt material avsatt på ett dielektriskt substrat (substrat). När en blandningsprocess används kan en del av kretsen också tillverkas på detta substrat.
Tjockfilmssensorn tillverkas genom att belägga en slurry av motsvarande material på ett keramiskt substrat, som vanligtvis är gjort av Al2O3, och sedan värmebehandlas för att bilda en tjock film.
Keramiska sensorer tillverkas med standardkeramiska processer eller någon variation därav (sol, gel, etc.).
Efter att den lämpliga förberedande operationen är avslutad sintras den formade komponenten vid en hög temperatur. Det finns många gemensamma egenskaper mellan de två processerna för tjockfilm och keramiska sensorer. I vissa avseenden kan tjockfilmsprocessen betraktas som en variant av den keramiska processen.
Varje processteknik har sina egna fördelar och nackdelar. Keramiska och tjockfilmssensorer är mer rimliga pga
